全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機特點：

用于各尺寸硅晶片的腐蝕清洗；

清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；

工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。

腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性；

工藝參數(shù)（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設(shè)定；

機臺前方為清洗工作區(qū)域，機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機藥液供給及補液方式:分體式CDS自動供液系統(tǒng)

DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；

全塑機體，防腐耐溫。

干式加熱，加熱器壽命2年

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機自動換位，自動定時。

加熱/制冷+溢流+拋動，以上功能保證腐蝕均勻，無腐蝕不均現(xiàn)象。

石英晶片的腐蝕可以自動計算腐蝕時間。

可以控制腐蝕液溫度和濃度。

腐后噴淋清洗

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機參數(shù)：

外形尺寸：2000×1120 ×1000 mm

加工版面：≤寬600mm(長度不限)

工作形式：連續(xù)進料、雙面噴淋式

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機過濾形式：供液過濾+下料過濾

加熱系統(tǒng)：鈦合金防腐加熱

工作溫度：-10-50度（自動恒溫）

蝕刻速度：無級調(diào)速

功 率：3.5kw/380V

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機控制系統(tǒng)：蝕刻開關(guān)、單雙面蝕刻控制開關(guān)、自動溫控、水平輪片傳送（無級調(diào)速）

溫度范圍：室溫+5℃～55℃

溫度均勻度：≤2℃

溫度波動度：≤±0.5℃

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機鹽霧沉降量：1~2ml/h.80cm2

噴霧方式：連續(xù)、間隙噴霧任意選擇

試驗定時 ：1～999（S、M、H）可調(diào)

注：該機可按具體需求，針對性設(shè)計；

全自動硅片混酸擇優(yōu)腐蝕機說明：

通過高壓噴淋及被蝕刻板直線運動形成連續(xù)不間斷進料狀態(tài)進行對工件腐蝕以提高生產(chǎn)效率；

加大了噴淋與被蝕刻金屬板的有效面積和蝕刻均勻程度，無論在蝕刻效果、速度和改善操作者的環(huán)境及方便程度，都優(yōu)于潑濺式蝕刻；